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装置のお見積り依頼・お問い合わせの際は
予め下記項目をご確認の上、ご連絡願います。
A:処理材料に関する資料
@基板材質、最大処理サイズ、最小処理サイズ、厚さなど。
A積層物の材質、物性など。
B感光性材料の特性、膜厚など。
B:処理工程に関する資料
@各プロセスの処理時間、処理薬品、処理温度、処理条件など。
A希望する処理能力(計画生産量)、実稼働時間など。
B補充システム、液管理システムの必要性の有無。
C:ユーティリティに関する情報
@エア、給水、冷却水、電源など供給可能なユーティリティなど。
A排水・廃液、ミスト含有排気、熱排気など。
その他、概略予算を教えて頂ければ、より現実性の高いプラニングが可能です。
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